高纯度乙硅烷实现规模化、稳定化量产！

2026年1月16日，气博会组委会主席、气体圈子总裁任路先生受邀参加烟台参万华电子材料有限公司乙硅烷规模化、稳定化量产新闻发布会。

万华电子材料自主研发的硅化镁法生产工艺，将乙硅烷合成率稳定提升至30%以上，量产纯度超过4.8N（99.998%），产能50吨/年，建成了全球单套产能最大的乙硅烷生产装置。

乙硅烷是推动半导体先进制程向前迈进的关键工艺材料，成膜速率比甲硅烷高约10倍，有助于在更短的时间内形成均匀的薄膜层。同时，它支持在相对较低的温度下进行沉积，这有助于减少对底层器件的热损伤，并在低温条件下仍能保持良好的台阶覆盖能力‌，尤其在高深宽比结构的阶梯覆盖率方面效果显著。

当前，乙硅烷全球年需求量约100-150吨，随着AI芯片、先进存储及逻辑制程的飞速发展，乙硅烷市场正在高速增长。行业预测，未来几年全球需求年增速将达15-20%，而中国市场的增速更可望超过30%。

任路说，近年来国家和地方出台了一系列相关政策，支持乙硅烷发展。工业和信息化部发布的《重点新材料首批次应用示范指导目录（2024版）》将高纯度乙硅烷列为重点支持对象，明确了严苛的纯度与性能指标。

2025年10月27日，山东省省委副书记、省长周乃翔主持召开省政府常务会议会议研究了《支持电子特气产业高质量发展的若干政策措施》，要求坚持有效市场和有为政府相结合，大力培育电子特气领域经营主体，深化产业链上下游协同攻关，加强技术和产品推广应用，优化监管服务，促进电子特气产业做大做强做优。

2025年12月29日，根据国务院关税税则委员会发布的《2026年关税调整方案》，将乙硅烷进口关税由5.5降低为3。这代表了国家层面对乙硅烷给予政策倾斜的重要信号，表明乙硅烷在国家经济战略中具有关键地位。

作为气体行业全球领先的专业咨询机构，气体圈子期待与万华电子材料一起为中国“芯基建”贡献力量，切实保障我国产业链供应链安全稳定。

尚澜气体供应特种气体以及稳定同位素和放射性同位素：

碳13系列：碳13二氧化碳、碳13一氧化碳、碳13甲烷、碳13尿素，混配气等；

氮15系列：氮15氮气、氮15笑气，氮15一氧化氮，混配气；

氧18系列：氧18氧气、氧18二氧化碳、氧18一氧化碳、氧18水（重氧水)、混配气

氘代试剂：重水、氘代氨、氘代甲烷、氘代硅烷（混合气）、氟化氘、氘气、氢氘（HD 97%）等；

放射性同位素（具备辐安证销售许可）：锗镓发生器，氪85，锕225，锶90，Am241，γ放射源，β放射源，α放射源等；

特殊同位素：二氟化氙，氦3（分装1升-100升丰度99.8以上），硅28、氙124、氙129、氙131、钼98、氩36、铁58，金属钛49，钙42，镁26，镍64等；

特种气体：液氦槽分装解决方案、氪气（40升），氖气、氙气（100升起充），丙二烯，丙炔，环丙烷，乙烯基乙炔、六氟丙烷，三氟甲烷，全氟甲烷，一氧化碳，一氧化氮，二氧化氮，三氟化氮，四氯化锗，三氟甲磺酸酐，1-丁炔（70%-80%纯度），丙烯，五氟化碘，五氟化锑，五氟化磷，氦气集装格、（医院各种型号、小核磁、脑磁）核磁共振添加液氦（7×24H配送加装服务），各种比例同位素混合气混配；

详询:0.2升瓶到50升钢瓶均可充装定制。刘经理  13194677939 ➕V