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Parylene镀膜的设备 - 深圳方寸达

发布人:深圳方寸达科技有限公司

发布日期:2024/12/30 15:42:08

Parylene镀膜设备主要由以下几部分组成:

  1. 蒸发源:用于加热Parylene二聚体并将其蒸发成气体。
  2. 反应腔室:气化后的Parylene单体进入此腔室,与待镀物体表面接触并发生聚合反应,形成薄膜。
  3. 气体传输管道:用于将气化后的Parylene单体气体从蒸发源传输至沉积腔室。
  4. 真空系统:保证整个沉积过程在低压环境下进行,有助于提高膜层的均匀性和附着力。
  5. 温控系统:控制设备的温度,以确保反应过程顺利进行。

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