| 英文名称 | 中文名称 | CAS |
|---|---|---|
| Decachlorotetrasilane; DCTS; Si4Cl10 | 13763-19-4 | |
| Dodecachloroneopentasilane; Dodekachlorneopentasilan; NPCS; Si5Cl12; Cl12Si5 | ||
| Hexachlorodisilane; HCDS; Si2Cl6 | 六氯乙硅烷 | 13465-77-5 |
| Octachlorotrisilane; OCTS; Si3Cl8 | 八氯三硅烷 | 13596-23-1 |
| Dodecachloroneopentasilane; NCPS; Si5Cl12 | 四(三氯甲硅烷基)硅烷 | 50350-62-4 |
| Pentachlorodisilane; PCDS; Si2Cl5H | 五氯二硅烷 | 31411-98-0 |
| Tetrachlorodisilane; TCDS; Si2Cl4H2 | 99995-72-9 |
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