高纯氩6N (99.9999%)主要应用在电子、冶金、半导体和仪器分析等产业部门和科研中。例如6N以上的氩气是Si、 GaAs、 CdTe等单晶的生产和直读光谱仪的工作必不可少的条件。
从现有技术看，使用Zr、 Ti等金属和它们的合金作为吸附剂，能够把氩气纯化得到6N以上高纯氩。但是由于这些合金吸附剂是用稀贵金属制造，而且容易失活，因此，此方法的缺点是成本过高。
瓶装高纯氩气在运输储存、使用时都应分类堆放，严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起，不准靠近明火和热源，应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。
