乙酰丙酮铪

乙酰丙酮铪为白色结晶状粉末，易溶于甲醇、乙醇、氯仿、苯、甲苯、乙醚等常规有机溶剂，遇水水解。它的升华温度为193°C，是MOCVD (金属有机化学气相沉积）制备HfO2涂层和薄膜的理想前驱体，早在20世纪70年代M. Balog就以Hf (acac)4为前驱体制备了高纯HfO2薄膜。

白色粉末。溶于苯和四氯化碳。

以Hf (acac)4为前驱体制备的HfO2薄膜具有高熔点（约2758°C )，高的介电常数（约25)等优异的物理化学性能，在高温保护涂层、光学涂层、栅介质材料、传感器等领域具有广泛的应用前景。特别是由于HfO2具有高的k值、宽的带隙（5. 7ev)，与Si接触较好的热力学稳定性和良好的晶格匹配特性，是替代传统SiO2栅介质材料的理想化合物。

乙酰丙酮铪是一种配合物，其呈白色固体状，为乙酰丙酮的主要铪配合物，可由四氯化铪、乙酰丙酮和碱来制备。

将HfO2溶于氢氟酸中，同硝酸一起蒸干，将固体物质溶于水中、制得金属盐的水溶液。

按照Hf（acac）4的组成，将化学计量的乙酰丙酮溶于苯中，制得乙酰丙酮的有机溶液。

将上述水溶液和有机溶液混合，在激烈搅拌下，慢慢滴加稀NaOH水溶液，使溶液pH值达到一适当值（通常5～7）。络合物从有机相中析出。然后用无水苯或其他有机溶剂进行重结晶。