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聚苯乙烯-N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺正性光刻胶

聚苯乙烯-N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺正性光刻胶

英文名称:polystyrene-N-(-4-hydroxyphyenyl) maleimide positive photoresist
CAS号:
分子式:
分子量:0
EINECS号:
Mol文件:Mol File
聚苯乙烯-N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺正性光刻胶 结构式

聚苯乙烯-N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺正性光刻胶 用途与合成方法

化学性质 
一种耐240℃以上高温的正性光刻胶,用JKG-1型光刻机曝光,曝光时间为60s,1μm厚,用0.2% NaOH水溶液显影,分辨率高于1.6μm,反差为2.7。
用途 
用于正性光刻胶。

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