聚苯乙烯-N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺正性光刻胶
- CAS号:
- 英文名:polystyrene-N-(-4-hydroxyphyenyl) maleimide positive photoresist
- 中文名:聚苯乙烯-N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺正性光刻胶
- CBNumber:CB62127723
- 分子式:
- 分子量:0
- MOL File:Mol file
聚苯乙烯-N-(4-羟基苯基)马来酰亚胺正性光刻胶性质、用途与生产工艺
- 化学性质 一种耐240℃以上高温的正性光刻胶，用JKG-1型光刻机曝光，曝光时间为60s，1μm厚，用0.2% NaOH水溶液显影，分辨率高于1.6μm，反差为2.7。
- 用途 用于正性光刻胶。
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