聚肉桂酸乙烯基氧乙酯

它具有分辨力和灵敏度高、粘附性强、显影后很少产生皱胶、针孔罕观、贮存稳定和等离子去胶效果好等优异性能，这种负胶的光刻最细条宽为0.5μm，适用于1μm-1.5μm以上条宽的。 用于光敏抗蚀剂、半导体器件、集成电路的和超微细光刻材料。