聚肉桂酸乙烯基氧乙酯
- CAS号:
- 英文名:polycinnamic acid vinyloxyothylated ester
- 中文名:聚肉桂酸乙烯基氧乙酯
- CBNumber:CB32124059
- 分子式:
- 分子量:0
- MOL File:Mol file
聚肉桂酸乙烯基氧乙酯性质、用途与生产工艺
- 化学性质 它具有分辨力和灵敏度高、粘附性强、显影后很少产生皱胶、针孔罕观、贮存稳定和等离子去胶效果好等优异性能，这种负胶的光刻最细条宽为0.5μm，适用于1μm-1.5μm以上条宽的。
- 用途 用于光敏抗蚀剂、半导体器件、集成电路的和超微细光刻材料。
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