六氟化钼为白色立方结晶，极易吸潮，在潮湿空气中放出蓝白色烟雾，易挥发成气体。相对密度2.30，熔点17.5℃，沸点35℃，融熔热为4.33 kJ/tool，汽化热为27.7 kJ/mol。在水中能水解，能溶于无水氢氟酸中，溶解度为1.5 mol/1000 gHF。

无机化工产品: 无机盐: Cp钼、钛、钨、钒、锆化合物

用作强氟化剂、成膜材料及离子掺杂。

合成法将冷的、干燥的氟气与金属钼于250～300℃直接进行氟化，其中MoF6粗品在-5～5℃回收，经真空蒸馏即可制得。

参考标准

指标名称	指标
六氟化钼(MoF6)/%≥	99
氧(O2)/10-6＜	200
氮(N2)/10-6＜	300
氢(H2)/10-6＜	30
活性氟(F)/10-6＜	500