五氟化钽为易挥发的、具有吸潮性的、白色的单斜晶系结晶。相对密度5.1，晶格常数a=0.964 nm，b=0.512 nm，c=96.30。熔点95.1℃，沸点229.2℃。蒸发热54.4 kJ/mol，融熔热18.8 kJ/mol，当温度在80～230℃范围内其蒸气压随温度变化的关系为lgp=27.649—2834/T(p为kPa)。易溶于水、乙醚，微溶于热的二硫化碳和四氯化碳及冷的浓硫酸中。在氢氧化钠溶液中即发生激烈反应。五氟化钽即使在沸腾状态下也不与溴、碘、氮等发生反应。

无机化工产品: 无机盐: 其他无机化合物

用于钽的化学气相沉积和离子注入掺杂，还用于有机化合物合成催化剂。

直接法以钽粉和氟为原料制备五氟化钽：以蒙乃尔合金或镍制的L型管作反应管，首先从管的一端抽真空，以除去管内的空气和水分，然后在该端加入金属钽粉，再将此端放入电炉中，将另一端放人半融化的干冰中，控制电炉使温度升至300℃，这时向反应管中通入氟气，经反应后即在干冰处生成凝固的固体五氟化钽粉末。反应产物经真空蒸馏，在-10℃收集得99％五氟化钽。在高真空的条件下，于90～100℃温度下升华，即得精制五氟化钽。产品必须贮存于干燥的硼硅酸玻璃的容器中并密封。反应式如下：$S001$S
合成法以五氯化钽和无水氢氟酸为原料制备五氟化钽：在室温下，五氯化钽和无水氢氟酸反应，反应后经冷凝、过滤分离即得固体五氟化钽，然后在真空下升华，即制得精制五氟化钽。反应式如下：$S002$S

参考标准

指标名称	指标
五氟化钽(TaF5)/%≥	99