无色有刺激性难闻恶臭的气体。在潮湿空气中剧烈发烟。相对密度5.527 g/L(气体)。熔点一93.8℃。沸点 84.6℃。临界温度144.5℃；临界压力3.39 Mpa。熔化热12.1 kJ/mol；汽化热17.2 kJ/mol。遇水则水解。遇碱分解。与胺、乙醚、硝酸盐、亚砜以及有机碱生成络合物。

无机化工产品: 无机盐: Cm磷化合物及磷酸盐

用作聚合反应催化剂。电子工业。

将三氟化磷加入反应器中，再通入氟气进行反应，生成五氟化磷气体，经冷却捕集器，制得五氟化磷成品。其反应式如下：
PF3+F2→PF5

参考标准

指标名称	指标
五氟化磷(PF5)含量/%	99.0
比容/(m3/kg)	0.19