本品为无色油状液体，易燃，b.p.187～188℃，n²⁰_D1.4080，相对密度1.072，不溶于水，在热水中分解，溶于醇和醚等有机溶剂。

农药中间体: 杀菌剂中间体: 脂肪族类杀菌剂

O，O′-二乙基亚磷酸酯即亚磷酸二乙酯，是杀菌剂三乙膦酸铝、稻瘟净，杀虫剂硫环磷，除草剂草甘膦的中间体，合成中间体O，O二乙基磷酰氯，进而合成杀虫剂硫环磷；合成中间体O，O-二乙基硫(醇)代磷酸钠，进而合成杀菌剂稻瘟净等。本品还可用作萃取剂及磷酸酯类中间体。

其实验室制法是将75mL四氯化碳和82.8g(1.8mol)无水乙醇加入到反应瓶中，在氮气保护及搅拌下滴加溶于50mL四氯化碳中的70.2g(0.51 mol)三氯化磷溶液，约1.5h加完，温度在整个过程中升高，加完后升温至70℃反应1h，溶液由无色变成淡黄色，然后用水泵减压蒸去溶剂，油泵减压蒸出产物。反应方程式见图：
3C₂H₅OH+PCl₃→(C₂H₅O)₂PHO+C₂H₅Cl+2HCl↑
其工业制法是在搪瓷搅拌釜中，加入无水乙醇、苯，冷却搅拌，在10～20℃下滴加三氯化磷，1h内滴加完毕，在此温度下反应1h，反应物料移至搪瓷中和釜中，在10～20℃下通氨气中和至pH=6～7，滤去氯化铵，滤液先蒸出，再减压蒸馏蒸出O，O′-二乙基亚磷酸酯。