三氯化硼新闻专题
三氯化硼的性质与应用
三氯化硼在精细化学品、航空航天、材料加工及半导体领域具有不可替代的作用。三氯化硼在大规模集成电路金属铝层刻蚀制程中起到重要作用，其纯度与质量要求较为严格。详尽地将三氯化硼的制备和纯化方法进行了归纳与总结，并追踪了近几年的工艺发展，认为在现有传统三氯化硼生产工艺基础上进行改进，降低能耗、提高合成选择性、提高安全性能与提高传质效率是三氯化硼生产的发展趋势。
2023-03-22
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