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(环戊二烯基)三(二甲基酰胺)锆新闻专题
(环戊二烯基)三(二甲基酰胺)锆的热分解机制
(环戊二烯基)三(二甲基酰胺)锆是原子层沉积制备ZrO?薄膜的关键前驱体，通过傅里叶变换红外光谱和四极杆质谱联用的原位监测系统，可以通过分析得到其热分解机制。
2025-05-27
环戊二烯基三(二甲氨基)锆的制备
环戊二烯基三(二甲氨基)锆在常温下是液体，是对空气和水汽非常敏感的化合物，能溶于烃类、四氯化碳等有机溶剂中，不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压，而且表现出了相当高的反应性，因此环戊二烯基三(二甲氨基)锆的物理化学特性可用于CVD或ALD技术以制备锆氧化物薄膜
2023-02-08
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