氟化丁基的制备方法
氟化丁基是一种氟化烷烃。氟化烷烃被用作等离子反应用气体、含氟医药中间体、制冷剂·制热剂等介质。特别是在使用等离子反应的半导体装置的制造领域中，高纯度化的氟化烷烃被良好地用作等离子蚀刻气体、化学气相沉积法(CVD)用气体等。
2020-09-11
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