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四氟化硅的生产工艺与应用
四氟化硅的生产工艺与应用
四氟化硅是目前微电子工业中用量较大的等离子蚀刻气体之一，性状为无色气体，工业生产方法主要有硫酸法，六氟硅酸盐热解法和Si-HF直接合成法3种。

2024-11-25

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