四（二甲胺基）钛的合成
研制四(二甲胺基)钛化合物正是针对以上高K前驱体的用途而进行的。四(二甲胺基)钛常温下是液体，是对空气和水汽非常敏感的化合物，能溶于醇类、苯、四氯化碳等有机溶剂中，不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压，而且表现出了相当高的反应性，是现今ALD研究领域的热点。
2023-02-03
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