六氟化钨的合成工艺
六氟化钨(WF6) 是目前钨的氟化物中唯一稳定并被工业化生产的品种。它的主要用途是在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD) 工艺的原材料，特别是用它制成的WSi2可用作大规模集成电路(LSI) 中的配线材料。另外还可以作为半导体电极的原材料、氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料等。
2020-11-25
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