丙二醇甲醚醋酸酯的提纯

丙二醇甲醚醋酸酯（PGMEA)，也叫丙二醇单甲醚乙酸酯，分子式为C6H12O3，无色吸湿液体，有特殊气味，是一种具有多官能团的非公害溶剂。主要用于油墨、油漆、墨水、纺织染料、纺织油剂的溶剂，也可用于液晶显示器生产中的清洗剂。易燃，高于42°C时可能形成爆炸性蒸汽/空气混合物。PGMEA溶剂是一种典型的用于溶解光敏聚合物的溶剂(major solvent)，其含有的任何金属离子都会潜在的影响光刻制程，从而扩散到功能性元器件中，降低其性能，良率或者使用寿命。

用途

PGMEA (丙二醇甲醚醋酸酯)溶剂作为性能优良的低毒高级工业溶剂，对极性和非极性的物质均有很强的溶解能力，在电子行业，尤其是在LCD面板的制作过程中，需要用到PGMEA溶剂作为清洗剂，用于光刻胶喷射喷嘴及涂胶容器等的清洗，产生的废溶剂中通常含有重金属、废元器件、颗粒杂质等固体杂质及高沸胶状物和油污等杂质，但PGMEA废液中的有用成分多，且溶剂价格贵，从经济和环保方面考虑，将有用成分再生具有巨大的经济价值和社会价值。

提纯方法

本发明公开了一种从PGMEA废液中提纯PGMEA的方法，PGMEA废液主要含有PGME（丙二醇甲醚）、酮类化合物、苯类化合物、乙氧基酯类化合物、甲氧基酯类化合物、水、固体电阻、电子元器件等杂质，废液成分及含量变化范围广，本发明针对电子行业产生的PGMEA废液，对收集来的废溶剂初步过滤后，进入原料沉降釜去除可沉降的固体杂质，沉降后上清液进入带有真空泵的蒸馏塔，去除难以处理的低沸点及高沸点杂质，蒸馏塔产生的目标产品粗产品进入精馏塔进一步精馏，得到纯度大于95%的目标产品，最高纯度可达到99%。处理设备主要包括过滤器、沉降釜、蒸馏塔、精馏塔。