六氟化硫的合成工艺

六氟化硫被广泛应用于电力设备行业、半导体制造业、冷冻工业、有色金属冶炼、航空航天、医疗(X光机、激光机)、气象(示踪分析)、化工等行业。由于六氟化硫具有优良的绝緣性能和减弧能力，工业级六氟化硫广泛应用于电力设备中的输配电及控制设备行业，包括气体绝緣开关设备、断路器、高压变压器、绝緣输电管线、高压开关、气封闭组合电容器、互感器等，是继代空气、第二代油之后的第三代绝缘介质。

电子级六氟化硫则主要应用于半导体及面板显示器件生产工艺中的蚀刻与清洗，具有用量少、纯度高、对生产及使用环境洁净度要求高和产品更新换代快等特点，国内仅有少数厂家具备生产能力。

工业上六氟化硫通常是由电解产生的氟在中高温下与硫反应来制备。大致生产过程是通过电解槽电解无水氟化氢制取F2，与加入反应釜的单质硫反应，再通过热解塔在350 °C裂解毒性较大的副产物S2F10，并通过水洗和碱洗除去HF、F2等杂质后进入低压吸附去除水分、高压吸附去除酸性气体，在-30 °C蒸馏去除空气和低沸点气体，逸出的SF6通过尾气捕集器(-60°C) 进行捕集后充装。

雅克科技的子公司科美特为国内六氟化硫龙头，现具备六氟化硫产能7000吨/年。2018年2月公司公告扩产项目环评，拟新增1000吨/年电子级SF6和2000吨/年CF4产能，扩产完成后公司将进一步巩固在国内的龙头地位。除科美特外，上市公司昊华科技下属黎明院具备六氟化硫产能2800吨/年，新增2000吨/年产能在2018年底时尚处于环评评审阶段。