硫化镱的应用举例

背景及概述^[1]

硫化镱为金属镱的硫化物，可用于电子领域，如制备能通过直流溅射溅镀透明薄膜的导电硫化物靶材。金属镱为银灰色，有延展性，质地较软，室温下镱能被空气和水缓慢氧化。与钐和铕相类似样，镱属于变价稀土，除通常呈正三价外，也可以呈正二价状态。由于这种变价特性，制备金属镱不宜用电解法，而采用还原蒸馏法进行制备和提纯。通常以金属镧为还原剂，利用镱金属高蒸汽压和镧金属低蒸气压的差别进行还原蒸馏。

应用^[1]

CN201410217491.5提供一种能通过直流溅射溅镀透明薄膜的导电硫化物靶材及其制备方法。采用以下技术方案：一种导电硫化物靶材，以二价阳离子硫化物为主成分，其中掺杂有重量百分比为0.1％～10％的三价阳离子硫化物。选择性地，所述二价阳离子硫化物为硫化锌、硫化镉、硫化铍、硫化镁、硫化钙、硫化锶、硫化钡中的一种或几种。选择性地，所述三价阳离子硫化物选自硫化硼、硫化铝、硫化镓、硫化铟、硫化钪、硫化钇、硫化镧、硫化铈、硫化钕、硫化铕、硫化钆、硫化铒或硫化镱中的一种或几种。所述导电硫化物靶材的制备：(1)成型：按重量比为硫化锌∶硫化铝＝1∶0.1的比例将两种原料粉末均匀混合后，填充入模具中；(2)烧结：采用热等静压方式进行加压烧结，先将所述模具抽真空至真空度为10-2mTorr并密封；然后将所述模具置于热等静压炉中，在惰性气氛中升温至600℃后，再以10～25℃/min的升温速度加热到1100℃，期间不断加压至气氛压力为8MPa，保温保压4小时后降温至400℃，泄压至1atm；最后冷却至室温，得到靶材粗坯料；(3)后处理：将所述靶材坯料经机械加工，得到靶材成品。以上所采用的二价阳离子硫化物还可以为其他适合制备靶材的二价阳离子硫化物，如硫化镉、硫化铍、硫化镁、硫化钙、硫化锶、硫化钡及其混合物等；所采用的三价阳离子硫化物还可以是硫化硼、硫化镓、硫化铟、硫化钪、硫化钇、硫化镧、硫化铈、硫化钕、硫化铕、硫化钆、硫化铒、硫化镱及其混合物等。

参考文献

[1]CN201410217491.5一种导电硫化物靶材及其制备方法