15112-89-7
中文名称
三(二甲胺基)硅烷
英文名称
TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
CAS
15112-89-7
分子式
C6H19N3Si
分子量
161.32
MOL 文件
15112-89-7.mol
更新日期
2026/09/21 12:05:43
结构式
基本信息
中文别名
三(二甲胺)硅
三(二甲胺基)硅烷
三(二甲氨基)硅烷
三(二甲基氨基)硅烷
N,N,N',N',N'',N''-六甲基硅烷三胺
三(二甲胺基)硅烷
三(二甲氨基)硅烷
三(二甲基氨基)硅烷
N,N,N',N',N'',N''-六甲基硅烷三胺
英文别名
TDMAS
3DMAS
LS 1460
amino)siL
(Me2N)3SiH
3DMAS : [(CH3)2N]3SiH
Tris(dimethyamino)silane
Tri(dimethylamino)silane
TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
Tris(dimethylamido)silane
3DMAS
LS 1460
amino)siL
(Me2N)3SiH
3DMAS : [(CH3)2N]3SiH
Tris(dimethyamino)silane
Tri(dimethylamino)silane
TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
Tris(dimethylamido)silane
所属类别
有机原料：无环单胺、多胺及其衍生物和盐
物理化学性质
| 熔点 | <0°C |
| 沸点 | 145 °C |
| 密度 | 0,838 g/cm3 |
| 折射率 | 1.4247 |
| 闪点 | 25°C |
| 储存条件 | 2-8°C, protect from light |
| 酸度系数(pKa) | 10.93±0.70(Predicted) |
| 形态 | 液体 |
| 比重 | 0.84 |
| 颜色 | 无色至淡黄色 |
| 敏感性 | 对空气敏感，湿气敏感 |
| 水解敏感性 | 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents |
| InChI | 1S/C6H19N3Si/c1-7(2)10(8(3)4)9(5)6/h10H,1-6H3 |
| InChIKey | TWVSWDVJBJKDAA-UHFFFAOYSA-N |
| SMILES | CN(C)[SiH](N(C)C)N(C)C |
| EPA化学物质信息 | N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilanetriamine (15112-89-7) |
安全数据
| 危险性符号(GHS) |    GHS02,GHS05,GHS06 |
| 警示词 | 危险 |
| 危险性描述 | H225-H261-H302-H311-H314-H330 |
| 防范说明 | P210-P231+P232-P280-P303+P361+P353-P304+P340+P310-P305+P351+P338 |
| 危险品标志 | F,C |
| 危险类别码 | 10-36/37/38-52/53-34-29-20-15-11 |
| 安全说明 | 16-26-36/37/39-45-43 |
| 危险品运输编号 | 1993 |
| WGK Germany | 3 |
| RTECS号 | VV5800000 |
| TSCA | Yes |
| REACH 注册登记 | Active |
| 存储类别 | 4.3 - Hazardous materials which set free flammable gases upon contact with water |
| 危险性类别 | Acute Tox. 3 Dermal Acute Tox. 3 Inhalation Acute Tox. 4 Oral Eye Dam. 1 Flam. Liq. 2 Skin Corr. 1B Water-react 2 |
| 毒性 | rabbit,LD50,skin,477mg/kg (477mg/kg),LIVER: OTHER CHANGESLUNGS, THORAX, OR RESPIRATION: CHRONIC PULMONARY EDEMA,Toxicology and Industrial Health. Vol. 5, Pg. 45, 1989. |
常见问题列表
产品特性
相关的研究表明，三(二甲胺基)硅烷作为前驱体源不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压，而且表现出了相当高的反应性，所以这种有机硅源成了目前ALD方法沉积SiO2研究的热点。
制备
一种三（二甲胺基）硅烷的制备方法，包括如下步骤：在惰性气氛保护下，在反应器中加入二甲胺和烃类溶剂，然后向体系中加入有机锂化合物，制得二甲胺的锂盐；向体系中加入三氯硅烷；反应结束后进行蒸馏，得到三（二甲胺基）硅烷。
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英文名称：15112-89-7
CAS：15112-89-7
纯度：99.0%
包装信息：5KG;1KG
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中文名称：三（二甲胺基）硅烷
英文名称：Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
CAS：15112-89-7
纯度：(99.999%-Si)
包装信息：25g;5g
备注：化学试剂、精细化学品、医药中间体、材料中间体
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英文名称：TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE, 99.9+%
CAS：15112-89-7
纯度：99%
包装信息：25g
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中文名称：三(二甲氨基)硅烷
英文名称：Tris(dimethylamino)silane
CAS：15112-89-7
纯度：99.00%
包装信息：5g;25g
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中文名称：三(二甲胺基)硅烷
英文名称：Tris(diMethylaMino)silane
CAS：15112-89-7
纯度：electronic grade, 99.999%
包装信息：25G
备注：国产化学试剂、精细化学品、医药中间体、材料中间体
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中文名称：三(二甲胺基)硅烷
英文名称：TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
CAS：15112-89-7
纯度：98% GC
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中文名称：三(二甲胺基)硅烷
英文名称：Tris(dimethylamino)silane
CAS：15112-89-7
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中文名称：三（二甲胺基）硅烷
英文名称：Tris(Dimethylamino)Silane
CAS：15112-89-7
纯度：95%
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中文名称：三（二甲氨基）硅烷
英文名称：TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
CAS：15112-89-7
纯度：95%
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英文名称：Tris(dimethylamino)silane
CAS：15112-89-7
纯度：98% min.
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英文名称：Tris(dimethylamino)silane
CAS：15112-89-7
纯度：packaged for use in deposition systems
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CAS：15112-89-7
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英文名称：3DMAS : [(CH3)2N]3SiH
CAS：15112-89-7
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英文名称：Tris(dimethylamino)silane
CAS：15112-89-7
纯度：0.99
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中文名称：三(二甲胺基)硅烷
英文名称：TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
CAS：15112-89-7
纯度：98%
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中文名称：三（二甲氨基）硅烷
英文名称：Tris(dimethylamino)silane
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