15112-89-7
中文名称
三(二甲胺基)硅烷
英文名称
TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
CAS
15112-89-7
分子式
C6H19N3Si
分子量
161.32
MOL 文件
15112-89-7.mol
更新日期
2024/02/21 14:24:33
结构式
基本信息
中文别名
三(二甲胺)硅
三(二甲胺基)硅烷
三(二甲氨基)硅烷
三(二甲基氨基)硅烷
N,N,N',N',N'',N''-六甲基硅烷三胺
三(二甲胺基)硅烷
三(二甲氨基)硅烷
三(二甲基氨基)硅烷
N,N,N',N',N'',N''-六甲基硅烷三胺
英文别名
TDMAS
3DMAS
LS 1460
amino)siL
(Me2N)3SiH
3DMAS : [(CH3)2N]3SiH
Tris(dimethyamino)silane
Tri(dimethylamino)silane
TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
Tris(dimethylamido)silane
3DMAS
LS 1460
amino)siL
(Me2N)3SiH
3DMAS : [(CH3)2N]3SiH
Tris(dimethyamino)silane
Tri(dimethylamino)silane
TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
Tris(dimethylamido)silane
所属类别
有机原料：无环单胺、多胺及其衍生物和盐
物理化学性质
| 熔点 | <0°C |
| 沸点 | 145 °C |
| 密度 | 0,838 g/cm3 |
| 折射率 | 1.4247 |
| 闪点 | 25°C |
| 酸度系数(pKa) | 10.93±0.70(Predicted) |
| 形态 | 液体 |
| 比重 | 0.84 |
| 颜色 | 无色至淡黄色 |
| 敏感性 | 对空气敏感，湿气敏感 |
| 水解敏感性 | 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents |
| EPA化学物质信息 | N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilanetriamine (15112-89-7) |
安全数据
| 危险性符号(GHS) |    GHS02,GHS05,GHS06 |
| 警示词 | 危险 |
| 危险性描述 | H225-H261-H302-H311-H314-H330 |
| 防范说明 | P210-P231+P232-P280-P303+P361+P353-P304+P340+P310-P305+P351+P338 |
| 危险品标志 | F,C |
| 危险类别码 | 10-36/37/38-52/53-34-29-20-15-11 |
| 安全说明 | 16-26-36/37/39-45-43 |
| 危险品运输编号 | 1993 |
| WGK Germany | 3 |
| RTECS号 | VV5800000 |
| TSCA | Yes |
常见问题列表
产品特性
相关的研究表明，三(二甲胺基)硅烷作为前驱体源不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压，而且表现出了相当高的反应性，所以这种有机硅源成了目前ALD方法沉积SiO2研究的热点。
制备
一种三（二甲胺基）硅烷的制备方法，包括如下步骤：在惰性气氛保护下，在反应器中加入二甲胺和烃类溶剂，然后向体系中加入有机锂化合物，制得二甲胺的锂盐；向体系中加入三氯硅烷；反应结束后进行蒸馏，得到三（二甲胺基）硅烷。
供应商信息 更多
北京百灵威科技有限公司
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010-82848833 400-666-7788
产品介绍：
中文名称：三（二甲胺基）硅烷
英文名称：Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
CAS：15112-89-7
纯度：(99.999%-Si)
包装信息：25g;5g
备注：化学试剂、精细化学品、医药中间体、材料中间体
上海迈瑞尔生化科技有限公司
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4006608290; 18621169109
产品介绍：
英文名称：TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE, 99.9+%
CAS：15112-89-7
纯度：99%
包装信息：25g
备注：SIT8714.1
安耐吉化学&3A（安徽泽升科技有限公司）
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021-021-58432009 400-005-6266
产品介绍：
中文名称：三(二甲胺基)硅烷
英文名称：Tris(diMethylaMino)silane
CAS：15112-89-7
纯度：electronic grade, 99.999%
包装信息：25G
备注：国产化学试剂、精细化学品、医药中间体、材料中间体
上海博氏医药科技有限公司
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021-34975603-808 18721111801
产品介绍：
中文名称：三(二甲胺基)硅烷
英文名称：TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
CAS：15112-89-7
纯度：98% GC
包装信息：5kg;1kg
上海瀚鸿科技股份有限公司
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021-54306202 13764082696
产品介绍：
中文名称：三(二甲胺基)硅烷
英文名称：Tris(dimethylamino)silane
CAS：15112-89-7
备注：SR19050004
上海探圭新材料科技有限公司
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产品介绍：
中文名称：三（二甲胺基）硅烷
英文名称：Tris(Dimethylamino)Silane
CAS：15112-89-7
纯度：95%
包装信息：500Kg;100Kg;50Kg;25Kg;10Kg;5Kg;1Kg;500g;100g;50g
备注：量产许可
上海石洋化工有限公司
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021-021-56795766
产品介绍：
中文名称：三（二甲氨基）硅烷
英文名称：TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
CAS：15112-89-7
纯度：95%
包装信息：100g/1kg
江苏欣诺科催化剂有限公司
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英文名称：Tris(dimethylamino)silane
CAS：15112-89-7
纯度：0.98
包装信息：5KG;1KG
Sigma-Aldrich西格玛奥德里奇(上海)贸易有限公司
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021-61415566 800-8193336
产品介绍：
英文名称：Tris(dimethylamino)silane
CAS：15112-89-7
纯度：packaged for use in deposition systems
包装信息：25G
备注：759562-25G
小辣椒试剂
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产品介绍：
英文名称：3DMAS : [(CH3)2N]3SiH
CAS：15112-89-7
纯度：＞4N
包装信息：10g
备注：MOCVD&ALD源
苏州矽索新材料有限公司（生产型企业）
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英文名称：15112-89-7
CAS：15112-89-7
纯度：95.0%
包装信息：1KG,5KG,10KG
备注：0.100_kg
安徽敦茂新材料科技有限公司
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中文名称：三(二甲胺基)硅烷
英文名称：Tris(dimethylamino)silane
CAS：15112-89-7
纯度：99%
包装信息：25g
备注：无色液体; 空气敏感，水气敏感
河南阿尔法化工有限公司
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中文名称：三(二甲胺基)硅烷
英文名称：TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
CAS：15112-89-7
纯度：98%
包装信息：100mg；250mg；500mg；1g；5g；10g；25g；50g；100g；250g；500g；1kg；5kg；10kg；25kg
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中文名称：三(二甲胺基)硅烷
英文名称：Tris(dimethylamino)silane
CAS：15112-89-7
纯度：0.95
包装信息：100G;5KG;1KG;10KG
备注：1000kg
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中文名称：三（二甲氨基）硅烷
英文名称：Tris(dimethylamino)silane
CAS：15112-89-7
包装信息：1kg
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中文名称：三(二甲胺基)硅烷
CAS：15112-89-7
纯度：0.95
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产品介绍：
中文名称：三(二甲胺基)硅烷
英文名称：TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
CAS：15112-89-7
纯度：N/A
包装信息：10ML~1000L
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中文名称：三(二甲胺基)硅烷
英文名称：TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
CAS：15112-89-7
纯度：98%
备注：25千克/桶/