八氟环丁烷

八氟环丁烷又名全氟环丁烷, 化学性质稳定, 无毒且无臭氧影响, 温室效应低, 是一种绿色环保型特种气体, 主要应用于高压绝缘、超大规模集成电路蚀刻剂、代替氯氟烃的混合制冷剂、气溶胶、清洗剂 (电子工业用) 、喷雾剂、热泵工作流体等。随着蒙特利尔协议的实施和电子行业的飞速增长, 八氟环丁烷的作用日趋重要, 使用量也在逐年上升, 是一种重要的特种含氟气体。 在电子工业制造半导体设备的过程中, 需要用到气态含氟化合物, 等离子体干法蚀刻工艺最常用的气体为氟碳化合物, 其中所含的碳可以帮助去除氧化层中的氧, 包括四氟化碳、八氟丙烷、八氟环丁烷等, 因此八氟环丁烷在半导体刻蚀方面也有广泛的应用。 专利中公开了一种在导体上刻蚀介电层及覆盖层露出导体的刻蚀方法, 在一个实施方案中, 使用含有八氟环丁烷的化学物质刻蚀二氧化硅的第一介电层, 使用含有四氟甲烷的化学物质刻蚀氮化钛 (Ti N) 的覆盖层, 以露出导体, 该方法可阻止刻蚀速率的劣化, 并表现出减少的静电放电缺陷。专利中介绍了一种半导体装置生产过程中除去接触孔等的底部材料表面上形成的氮化硅膜的方法, 八氟环丁烷作为较高级碳氟化合物等离子刻蚀气体, 与一氟甲烷、二氟甲烷等较低级碳氟化合物结合使用, 可以大大改善刻蚀效果。