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三甲基镓的用途

发布日期:2023/12/26 11:07:31

三甲基镓,简称TMG 或TMGa,是一种有机镓化合物,化学式 Ga(CH3)3。它是一种无色,可自燃的液体。不像三甲基铝,但类似三甲基铟,三甲基镓是单体。

三甲基镓

用途

高纯三甲基镓(TMG)是目前主要的MO源产品(高纯金属有机化合物)之一,广泛用作MOCVD(金属有机化学气相沉积法)等工艺制备LED等新型半导体光电产品的基础必备原材料。

制备

合金法是目前比较经济可行的三甲基镓合成工艺,该工艺采用的主要原料为7N级高纯镓,其目前市场价位约为1700元/千克,而高纯三甲基镓高达12000元/千克。例如CN 103145745 A中公开的三甲基镓合成工艺为合金法,采用的原料为电解得到的金属镓,后续在反应前还需将其制备成镓镁合金,其中,电解过程与镓镁合金的制备过程能耗均较高。

本发明的目的是为了克服现有技术中的上述缺陷,提供一种三甲基镓的制备方法。

为了实现上述目的,本发明提供了一种三甲基镓的制备方法,该方法包括:在惰性气体保护下,将镓盐与甲基氯化镁在有机溶剂中进行反应,然后从得到的反应混合物中分离三甲基镓。

本发明利用镓盐的有机溶液和格林试剂甲基氯化镁的有机溶液直接制备三甲基镓,该方法能够缩短工艺流程,省去耗能较高的电解过程(500-1000kWh/kgGa)及镓镁合金合成工艺,明显降低三甲基镓的生产成本,提升镓资源的利用价值。根据本发明的一种优选的实施方式,在制备甲基氯化镁的有机溶液时,在引发剂的存在下,本发明采用价格更低的氯甲烷原料替代溴甲烷,进一步降低了三甲基镓的生产成本。此外,本发明直接以粉煤灰提铝工艺中镓金属电解前的中间原料(如GaCl3)制备三甲基镓,而非采用昂贵的高纯镓金属作为合成反应的原料,又进一步降低了三甲基镓的生产成本。同时,由于甲基氯化镁、镓盐如GaCl3等反应物及生成物易溶于苯类、醚类、酮类和四氯化碳等有机溶剂,使得三甲基镓的合成过程由固液反应体系转换为液液反应体系,更有利于合成反应的连续进行。

参考文献

CN106749354A

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