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三氟化氯

三氟化氯,7990-91-2,结构式

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三氟化氯
三氟化氯
纯度：99%
类别：中间体
包装：25元/KG
询价 陕西宝鸡
陕西西化化学工业有限公司
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用途
三氟化氯（CIF3）是一种用于清洗化学气相沉积腔室及其管道清洗的重要的电子特气。与其他含氟气体（如NF3、C2F6和CF4）不同，三氟化氯在室温下就能够与半导体材料进行反应，因此它可以清洗冷壁CVD腔室。