三氯化硼
- 中文名称:三氯化硼
- 中文别名:三氯化硼;氯化硼;三氯化硼,1M的二氯甲烷或者正己烷;三氯化硼, 1.0 M SOLUTION IN XYLENE, SPCSEAL;BCL3-2-氯乙醇;三氯硼烷;三氯化硼, 1.0 M SOLUTION IN TOLUENE, SPCSEAL;三氯化硼, 1.0 M SOLUTION IN P-XYLENE, SPCSEAL
- 英文名称:Boron trichloride
- CAS No:10294-34-5
- EINECS号:233-658-4
- 分子式:BCl3
- 产品类别:无机化工
用途
高纯三氯化硼主要用于（硅）半导体器件制造工艺中的等离子干刻、扩散掺杂，在高温下，经过分解生成硼杂质向硅中扩散，形成P型半导体，也可用于Al、MoChemicalbookSi2、TaSi2、TiSi2、WSi等材料的干法蚀刻；作硼载气及一些有机反应的催化剂；精炼镁、锌、铝、铜合金时从溶化金属中除掉氮、碳、氧化合物。