1,2,3,4-四氯六氟丁烷
- 中文名称:1,2,3,4-四氯六氟丁烷
- 中文别名:1,2,3,4-四氯六氟丁烷;六氟-1,2,3,4-四氯丁烷
- 英文名称:1,2,3,4-Tetrachlorohexafluorobutane
- CAS No:375-45-1
- EINECS号:938-148-1
- 分子式:C4Cl4F6
- 产品类别:有机原料
用途
1,2,3,4-四氯六氟丁烷是六氟-1,3-丁二烯的主要合成原料，而六氟-1,3-丁二烯作为半导体加工使用的蚀刻气体备受关注，其能够对100nm、甚至更窄的宽度进行蚀刻，并具有很高的精准性。