四双(乙基甲基氨)铪(IV)
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- 中文名称:四双(乙基甲基氨)铪(IV)
- 中文别名:四(乙基甲基氨)铪(IV);四双(乙基甲基氨)铪(IV),99%;四双(乙基甲基氨)铪(IV);四(甲乙氨基)铪;四(乙基甲基氨基)铪(IV);四(乙基甲基胺基)铪(IV);四(甲乙胺)铪;四(乙基甲基胺)铪
- 英文名称:TETRAKIS(ETHYLMETHYLAMINO)HAFNIUM
- CAS No:352535-01-4
- 分子式:C12H32HfN4
- 产品类别:化工原料
用途
四双(乙基甲基氨)铪(IV)具有高介电常数,可在半导体制造中用作介电膜。