四氟化硅
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329735-86-6；二氯化[(R)-(+)-2,2-双(二苯基膦基)-1,1双萘基][(2R)()-1,1-双(4-甲氧苯基)-3-甲基-1,2-丁二胺]铷(Ⅱ)329735-86-6询价2025-01-21 -
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用途
四氟化硅是电子和半导体行业中重要的电子特气之一，主要用于硅化钽、氮化硅等的蚀刻剂、P型掺杂剂及外延沉积扩散硅源，还可以用于制备电子级硅烷或多晶硅。