四氟化硅
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329735-87-7；二氯[(S)-(-)-2,2'-双(二苯基膦)-1,1'-联萘][(1R,2R)-(+)-1,2-二苯基乙烯二胺]钌(II)329735-87-7询价2024-12-30 -
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用途
四氟化硅是电子和半导体行业中重要的电子特气之一，主要用于硅化钽、氮化硅等的蚀刻剂、P型掺杂剂及外延沉积扩散硅源，还可以用于制备电子级硅烷或多晶硅。