二氟代氙
- 中文名称:二氟代氙
- 中文别名:二氟代氙, 99.5% (METALS BASIS);二氟代氙;二氟化氙XEF2;二氟代氙 二氟化氙;双氟氙
- 英文名称:XENON DIFLUORIDE
- CAS No:13709-36-9
- EINECS号:237-251-2
- 分子式:F2Xe
- 产品类别:无机化工
全国(8)筛选
aladdin 阿拉丁 X475182 二氟化氙 13709-36-9 99.99% trace metals basis
纯度：99.99% trace metals basis
类别：电子材料
品牌：阿拉丁
包装：1元/g
¥2499.90
上海
上海阿拉丁生化科技股份有限公司
用途
二氟化氙（XeF2），又称二氟代氙，分子量为169.30，是一种无色固体，在室温下容易升华而形成透明晶体。二氟化氙在中性或碱性溶液中分解，在酸性溶液中较为稳定，水溶液有刺激气味。二氟化氙蒸汽是无色的，具有令人发呕的恶臭。在电子工业中，XeF2常被用作硅的蚀刻气体，由于XeF2和硅的化学反应是自发反应，XeF2对硅的腐蚀工艺具有非常高的选择性，在XeF2对硅进行腐蚀过程中，XeF2气体通过自由扩散到硅衬底表面，并与最外层硅原子发生化学反应生成气态Xe和气态SiF4，从而实现对硅的腐蚀。