电子级亚磷酸三甲酯 (TMP) ，9N，99.9999999%

产品详情 一、分子式:P(OCH3)3                                 二、分子量:124.08 三、理化性质         无色液体，有刺激性臭味，熔点-78℃，沸点111～112℃，密度1.05g/ml。易燃，不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。 四、用途         主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）的磷源。是半导体、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。 五、质量指标 分析项目 技术指标 技术指标 8.5N 9N 纯度(%) min 9.99999995% 9.99999999% 主含量(%)min 99.99% 99.99% 硼（B）(ppb)max 50  50  Cl- （ppb）max 50  50  水分（ppm）max  25   25  颗粒数≥0.2µm(p/ml) max 10 10 颗粒数≥0.3µm(p/ml) max 7 7 颗粒数≥0.5µm(p/ml) max 5 5 颗粒数≥1.0µm(p/ml) max 1  1 色度(APHA)max 5 5     六、包装         容器：不锈钢瓶         外包装：不锈钢箱柜         规格：5加仑（19L）