电子级磷酸三甲酯 (TMPO) ，7N，99.99999%

产品详情 一、分子式：PO(OCH3)3                                二、分子量：140.08 三、理化性质         无色液体，有水果味，熔点-46℃，沸点197℃，密度1.20g/ml。易溶于水和乙醚，难溶于乙醇。遇明火、高热可燃，遇热分解产生氧化磷有毒烟雾，遇强碱、强氧化剂起剧烈反应。 四、用途         主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。 五、质量指标 分析项目 技术指标(ppb) 分析项目 技术指标(ppb) 纯度 99.99999%（7N） Al   max 3 Li    max 1 Ag   max 1 Mg   max 1 As   max 10 Mo   max 1 Au   max 1 Mn   max 1 Ba   max 1 Na   max 2 Be   max 1 Ni   max 1 Bi   max 1 Pb   max 1 Ca   max 3 Sb   max 1 Cd   max 1 Sn   max 1 Co   max 1 Sr   max 1 Cu   max 1 Ti   max 1 Cr   max 1 V    max 1 Fe   max 3 Zn   max 2 Ga   max 2 Zr   max 1 Hg   max 1 主含量 (%) min 99.98% K    max 1 色度(APHA)max 10   六、包装         容器：不锈钢瓶                      外包装：不锈钢箱柜                        规格：5加仑（19L）