电子级磷酸三乙酯（TEPO

产品详情 一、分子式：PO(OC2H5)3                           二、分子量：182.15 三、理化性质         无色透明液体。易溶于乙醇，溶于乙醚、苯等有机溶剂，也溶于水。熔点-56.4℃，沸点215℃，密度1.07kg/L。正常状况下稳定，与遇强碱、强氧化剂起剧烈反应。 四、用途         晶圆制造过程中沉积生成磷硅玻璃（PSG）和硼磷硅玻璃（BPSG）。是半导体、分立器件、微机电系统（MEMS）制造所需的重要电子化学品。 五、质量指标 分析项目 技术指标(ppb) 分析项目 技术指标(ppb) 纯度 99.999995%（7.5N） Al   max 2 Mo   max 1 Ag   max 1 Na   max 4 As   max 3 Ni   max 1 Au   max 1 Pb   max 1 Ba   max 1 Sb   max 1 Be   max 1 Sn   max 1 Bi   max 1 Sr   max 1 Ca   max 3       Th   max 1 Cd   max 1 Ti   max 2 Co   max 1 U   max 1 Cu   max 1 V   max 1 Cr   max 1 Zn   max 3 Fe   max 3 Zr   max 1 Ga   max 1 水分  max 25ppm Hg   max 1 色度 max 10APHA K    max 1 主含量 min 99.97% Li    max 1 颗粒数≥0.3µm  max 40 p/ml Mg   max 1 颗粒数≥0.5µm  max 10 p/ml Mn   max 1 颗粒数≥1.0µm  max 3 p/ml   六、包装         容器：不锈钢瓶                    外包装：不锈钢箱柜                        规格：5加仑（19L）