蓝宝石抛光用纳米氧化铝 200nm

蓝宝石衬底与窗口片机械抛光、化学机械抛光用 α 相纳米氧化铝。200nm 一次粒径、α 相含量 98% 以上，颗粒形貌规整、粒度分布窄，莫氏硬度 9，切削力强，在保证去除率的同时减少深划伤与嵌入颗粒；与硅溶胶抛光液相比，氧化铝浆料对蓝宝石（C 面、A 面）去除效率更高，适合粗抛与中抛工序。适用于 LED 图形化衬底、蓝宝石表镜与光学窗口、红外窗口、陶瓷基板以及硬质合金、不锈钢镜面的精密抛光。

【技术参数】

【技术参数】

外观：白色粉末；Al2O3≥99.9%；α 相≥98%；一次粒径 150-250nm（SEM）；D50 0.18-0.28μm；D99≤0.8μm；比表面积 8-15 m2/g（BET）；Na≤20ppm；Fe≤10ppm；Si≤20ppm；水分≤0.3%；灼烧减量≤0.5%；pH（10% 水分散液）7.0-9.0。

【质量检测】

SEM 观察颗粒 100-300nm（100nm 标尺，×30,000），棱角清晰、大颗粒少；激光粒度 D50 0.22μm、D99 0.61μm；BET 实测 11 m2/g；ICP 实测 Na 12ppm、Fe 5ppm；抛光验证：3wt% 浆料、pH 10.5、压力 0.15MPa，蓝宝石 C 面去除率 1.6 μm/h，表面粗糙度 Ra≤0.35nm，划伤密度＜0.05 个/cm2。

【应用案例】

1. LED 图形化蓝宝石衬底：粗抛去除率高，后续精抛余量小。

2. 蓝宝石表镜与摄像头窗口：抛光后透光率稳定，无雾感。

3. 红外光学窗口：表面缺陷少，透过率衰减小。

4. 陶瓷基板与硬质合金镜面：平面度好，边缘不塌角。

5. 抛光浆料配制：分散稳定，循环使用不易沉降。