(4-叔丁基苯基)二苯基氯化硫鎓盐

CAS 号 326925-53-5 对应的化合物是 (4-叔丁基苯基)二苯基氯化硫鎓盐（(4-tert-Butylphenyl)diphenylsulfonium chloride），也常被归类为光刻胶用光酸产生剂（PAG）。

基本信息

中文名称 (4-叔丁基苯基)二苯基氯化硫鎓盐

英文名称 (4-tert-Butylphenyl)diphenylsulfonium chloride

CAS号 326925-53-5

分子式 C₂₂H₂₃ClS

分子量 354.94 g/mol

纯度规格 98%

核心用途：KrF 光刻胶光酸产生剂

该化合物的核心身份是 248nm（KrF）深紫外光刻胶中的关键光酸产生剂（PAG）。

作用机制：在深紫外光照射下，分子中的硫鎓阳离子吸收光子并发生光分解，释放出强酸（HCl）。该酸在后续的烘烤过程中作为催化剂，催化光刻胶树脂发生脱保护反应，从而改变其在显影液中的溶解性，实现高精度图形转移。

结构作用：对位的叔丁基是一个温和的给电子基团，用于调节光酸产生剂的吸收波长和溶解度；其较大的空间位阻也提升了分子的热稳定性，确保在曝光前不会发生热分解。

应用领域：主要服务于半导体芯片制造、平板显示等微电子加工领域。