2-环己基-2-丙醇甲基丙烯酸酯

CAS号 186585-56-8 对应的化合物是甲基丙烯酸2-环己基丙-2-基酯（2-Cyclohexylpropan-2-yl methacrylate），也称为 2-环己基-2-丙醇甲基丙烯酸酯。

基本信息

分子式：C₁₃H₂₂O₂

分子量：210.31 g/mol

外观：无色至淡黄色透明液体

密度：约 0.96 g/mL (20°C)

闪点：104 °C

储存条件：室温，建议 15°C 以下阴凉干燥处保存

核心用途：光刻胶材料

该化合物主要用作光刻胶（Photoresist）的单体或添加剂，特别是在 248nm (KrF) 或 193nm (ArF) 光刻工艺中。

它的大体积脂环侧链（环己基和叔丁基结构）能有效调节光刻胶的性能，具体作用包括：

降低内应力和收缩率，改善光刻胶膜与基板的附着力，减少图案变形。

调节溶解对比度，帮助实现高分辨率图案的转移。

优化干法刻蚀耐受性，并改善线边缘粗糙度（LER）。