正硅酸甲酯681-84-5

CAS：681‑84‑5

中文名：四甲氧基硅烷（正硅酸甲酯、原硅酸四甲酯，TMOS）英文：Tetramethoxysilane / Tetramethyl orthosilicate 分子式：\(\boldsymbol{C_4H_{12}O_4Si}\)，分子量：152.22SMILES：COSi(OC) OC MDL：MFCD00008341 UN 编号：2606

一、物理性质

• 外观：无色透明液体，轻微酯类气味

• 熔点：−2 ~ −4 ℃

• 沸点：121–122 ℃

• 密度：1.023 g/mL（25 ℃）

• 折光率：\(n_D^{20}=1.3688\)

• 闪点：26 ℃（易燃）

• 溶解性：溶于甲醇、乙醇；遇水发生水解，不溶于水；遇湿气逐步生成 SiO₂凝胶并释放甲醇

二、结构与化学活性

中心 Si 原子连接四个甲氧基（Si‑OCH₃）

1. Si‑OMe 键：遇水 / 湿气水解，逐步脱甲醇，生成硅醇，进一步缩合形成 Si‑O‑Si 网络，溶胶‑凝胶核心前驱体；酸 / 碱催化会大幅加速水解缩合；

2. 可作为交联剂，与羟基、硅羟基反应；可用于制备其它有机硅化合物；

无芳环、无芳卤，不能 Suzuki 偶联；定位：溶胶凝胶硅源、有机硅交联剂。

三、用途

1. 溶胶‑凝胶化学：制备二氧化硅气凝胶、硅胶、分子筛、氧化硅涂层；半导体 CMP 研磨粒子前驱体；

2. 有机硅：硅树脂、密封胶交联剂；耐热防腐涂料原料；

3. 光学玻璃、陶瓷表面改性、精密铸造粘结剂；

4. 电子绝缘材料、CVD 二氧化硅薄膜前驱体。

四、安全要点（SDS）

• H226 易燃液体；H314 严重皮肤灼伤、眼损伤；H330 吸入致命；H372 长期吸入损害器官；UN2606，一类毒害品

• 遇湿气水解生成甲醇；严禁接触水、水汽；远离热源、明火

• 操作：通风橱，耐酸碱面屏、防毒面具、耐溶剂手套，无水体系操作

• 储存：密封干燥、阴凉通风，隔绝空气湿气，远离火源