1-乙基环辛酯甲基丙烯酸

中文名称 甲基丙烯酸(1-乙基环辛基)酯

英文名称 1-Ethylcyclooctyl Methacrylate (ECOMA)

CAS号 910914-92-0

分子式 C₁₄H₂₄O₂

分子量 224.34 g/mol

外观 透明液体（淡黄色）

密度 约 0.93 - 0.95 g/cm³ (20°C)

沸点 287.5 ± 9.0 °C (760 Torr)

闪点 约 116.1 °C

储存条件 2-8°C，密封、避光、低温保存

核心用途：ArF光刻胶单体

该化合物是一种特种甲基丙烯酸酯单体，其核心价值在于作为 193nm ArF光刻胶的关键组分。

低活化能保护基：其分子中的 1-乙基环辛基 (ECO) 基团是一个低活化能的酸敏感保护基。在化学放大光刻胶中，它允许在低至 60°C 的温度下进行曝光后烘烤（PEB）即可完成脱保护成像。而传统的叔丁酯类保护基通常需要 100°C 以上的温度。

技术优势：这种低温加工特性有助于减少酸扩散，从而可能获得更清晰的线边缘粗糙度（LER），对先进光刻工艺具有吸引力。

不可替代性：其独特的八元环结构提供了特定的疏水性、空间位阻和热稳定性平衡，不能简单地用甲基丙烯酸环己酯（CHMA）或甲基丙烯酸异冰片酯（IBOMA）等常规单体替代。