四甲基氢氧化铵溶液 / 四甲基氢氧化铵水溶液 新品

四甲基氢氧化铵溶液（TMAH 水溶液）

一、基础信息

• 别名：TMAH 溶液、氢氧化四甲铵水溶液

• 英文名称：Tetramethylammonium hydroxide aqueous solution

• 有效组分分子式：C₄H₁₃NO，结构简式：(CH₃)₄NOH

• 有效组分分子量：91.15

• CAS 号：75-59-2（本体）；五水合物 CAS：10424-65-4

• EINECS 号：200-882-9

• 常见规格：10%、20%、25% 水溶液

• 外观：无色透明液体，带有微弱氨 / 鱼腥味

• 密度（20℃，25% 溶液）：0.980~0.985 g/cm³

• 碱性：1% 水溶液 pH≈12.9，高浓度溶液 pH＞14，强有机强碱

• 溶解性：与水、乙醇无限互溶，不溶于醚、烷烃类溶剂

二、化学性质

1. 季铵型有机强碱，碱性强度等同于氢氧化钠、氢氧化钾，在水中完全电离出四甲基铵阳离子与氢氧根离子。

2. 极易吸收空气中二氧化碳，生成四甲基碳酸氢铵、碳酸四甲基铵，溶液易浑浊变质，需隔绝空气储存。

3. 受热易分解，135~140℃分解生成三甲胺、二甲醚与甲醇，无金属残留，区别于无机强碱。

4. 可与各类有机酸、无机酸完全中和生成四甲基铵盐；能催化有机硅聚合、光刻胶树脂剥离水解反应。

5. 对铝、锌、铜等有色金属具有强腐蚀作用，适配不锈钢、PTFE 材质设备。

三、主要用途

1. 半导体 / 微电子行业：光刻胶显影液、晶圆清洗蚀刻剂，剥离光刻胶涂层，金属离子残留极低，适配芯片制程。

2. 有机合成：相转移催化剂、硅橡胶合成聚合催化剂，替代无机碱避免金属杂质污染产品。

3. 分析化学：色谱流动相调节剂、滴定专用有机强碱试剂。

4. 工业清洗：精密电子零件、光学玻璃碱性清洗剂，去除有机树脂、油脂污垢。

5. 医药、精细化工：杂环合成、树脂改性、脱保护反应专用碱。

四、储存

五、制备工艺