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六氟丁二烯

Hexafluorobutadiene
2000000 1吨 起订
90000 45千克 起订
山东 更新日期:2026-08-15

山东齐芯气体有限公司

非会员
联系人:胡延斌
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邮箱:15165847957@163.com

产品详情:

中文名称:
六氟丁二烯
英文名称:
Hexafluorobutadiene
CAS号:
685-63-2
品牌:
齐芯气体
产地:
山东淄博
保存条件:
避光通风阴凉处保存
纯度规格:
99.995%
产品类别:
含氟电子特气
别名:
氟四六、全氟丁二烯
分子式:
C4F6

六氟丁二烯(C4F6)是一种用途广泛的高价值含氟化合物,其核心应用集中在半导体制造业,同时也在医疗影像化工合成等领域扮演重要角色。

半导体与电子工业是六氟丁二烯最重要的应用领域,它作为一种新一代“绿色”蚀刻气体,被用于先进制程的芯片制造中。

先进制程蚀刻:主要用于7nm及以下工艺的等离子体蚀刻,在3D NAND闪存、逻辑芯片(Logic)和DRAM的制造中表现优异

性能优势:相比传统蚀刻气体,它具有多项优势

    • 高选择性与高精度:能实现近乎垂直的蚀刻,精度可达100nm

    • 高深宽比:适合制造3D NAND等复杂立体结构

    • 环境友好:其全球变暖潜能值(GWP)极低(近乎为0),能减少65%-82%的PFC(全氟化碳)排放

    具体工艺:广泛用于反应离子蚀刻(RIE)、深反应离子蚀刻(DRIE)、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)以及等离子体腔室清洗。





六氟丁二烯;全氟丁二烯;1,3-丁二烯;电子特气;蚀刻用气;

公司简介


成立日期 (2年)
注册资本 6200万人民币
员工人数 10-50人
年营业额 ¥ 1亿以上
经营模式 工厂
主营行业 有机氟化合物

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