二硅化钛 新品

一、产品基础信息（TiSi₂，CAS 12039-83-7）硅化钛（二硅化钛） 是一种灰黑色金属间化合物，兼具金属导电性与陶瓷耐高温、耐腐蚀特性，是微电子与高温材料领域的关键功能材料。 核心参数 分子式：TiSi₂，分子量 104.04 外观：灰黑色粉末 / 结晶 / 致密块体 / 溅射靶材 密度：4.0–4.39 g/cm³，熔点约 1540℃ 导电性：低电阻率（约 12–15 μΩ・cm），金属级导电 稳定性：不溶于水、酸碱，仅溶于氢氟酸；高温抗氧化、抗腐蚀 晶体结构：正交晶系（C54 相，低阻稳定相） 纯度规格：工业级 99%，电子级 ≥99.9%（金属基） 常见形态：微米 / 纳米粉末、溅射靶材、烧结块、薄膜 产品优势 低阻 + 高温稳定：在硅基器件中形成低阻接触，热稳定性远超纯金属 与硅工艺兼容：可通过自对准硅化（Salicide）工艺原位生成，适配先进制程 抗氧化 / 耐腐蚀：高温下形成致密 SiO₂ 保护膜，适合极端环境 易加工：可制成粉末、靶材、薄膜，适配多种制备工艺二、核心应用领域1. 半导体与微电子（最核心应用） CMOS 器件接触 / 互联：用于 MOSFET 源 / 漏、栅极低阻接触，显著降低寄生电阻，提升芯片速度与能效，适配 65nm 及以下先进制程 局部互联层：作为 VLSI 内部低阻连线，替代部分金属布线，提升集成度 扩散阻挡层：TiSi₂ 或 TiSiN 薄膜阻挡铜 / 铝向硅 / 介质层扩散，保障器件可靠性 MEMS / 传感器电极：低阻、稳定、与硅兼容，用于微机电与传感器电极 / 引线 2. 高温结构与耐磨材料 高温抗氧化涂层：航空发动机、燃气轮机、热交换器表面涂层，1000℃以上仍稳定，抗高温氧化与燃气腐蚀 耐磨 / 耐蚀部件：用于高温轴承、密封件、模具、切削刀具，提升寿命与稳定性 精细陶瓷原料：制备耐高温、高强度陶瓷，用于航空航天、冶金、化工装备 3. 新能源与功能涂层 光伏 / 光电器件：作为电极、接触层或光学功能层，提升光电转换效率与稳定性 低辐射玻璃：TiSi₂ 薄膜调节光学 / 热学性能，用于节能玻璃涂层 燃料电池 / 储能：用作电极材料或导电添加剂，提升高温稳定性与导电性 4. 其他工业应用 冶金 / 化工：高温反应容器、耐腐蚀构件、催化剂载体 电子封装：散热基板、导电密封材料，兼顾导电与耐高温