氙气

- 中文名称：氙气

- 英文名称：Xenon gas；Xenon

- CAS号：7440-63-3

- 别名/曾用名：氙（工业通用简称）、高纯氙、电子级氙（纯度/用途衍生称谓，无官方曾用名）

- 分子式：\boldsymbol{Xe}（单原子稀有气体，无分子键，分子式与元素符号一致）

- 颜色/外观：常温常压下为无色、无味、无臭的惰性气体；高压放电时呈蓝绿色辉光；液态氙为无色透明超低温液体，固态氙为白色立方结晶，无肉眼可见杂质。

核心属性

- 有机/无机：无机物质（稀有气体单质，仅含氙元素，无碳氢有机结构，归属于无机非金属单质）

- 理化属性：标准状况下密度5.8971g/L（密度远大于空气，稀有气体中较重），微溶于水，化学性质极稳定（惰性强，常温下不与任何物质反应，高温/高压/强氧化剂下可形成少量氟化物）；沸点-108.1℃，熔点-111.9℃，临界温度16.6℃，易液化；本身无毒，高浓度下因密度大易在低洼处积聚，造成窒息缺氧；属于非易燃、非易爆、非助燃的惰性气体，工业分气态氙气和液态氙气，为稀缺稀有气体。

执行质量标准

国内氙气核心执行国标，电子级配套半导体行业标准，按纯度分级规范，核心指标：

产品等级 执行标准 核心纯度指标 适用场景 

纯氙气 GB/T 5828-2020《氙气》 ≥99.99%（4N） 照明、普通工业检测 

高纯氙气 GB/T 5828-2020《氙气》 ≥99.999%（5N） 医疗成像、精密检测 

超纯氙气 GB/T 5828-2020《氙气》 ≥99.9999%（6N） 电子/半导体、高端科研 

电子级氙气 SJ/T 10624-2021《电子工业用气体 稀有气体》 ≥99.99999%（7N），ppb级杂质 芯片刻蚀、光伏、光电子工艺 

型号&货号（行业通用分级，货号供应商自定义，无统一国标）

型号（按纯度/形态/压力/容器规格划分）

- 纯度型号：纯氙（4N，99.99%）、高纯氙（5N，99.999%）、超纯氙（6N，99.9999%）、电子级氙（7N，99.99999%）

- 形态/压力型号：气态氙（GXe）-15MPa/20MPa（钢瓶常用，低压充装，因密度大）；液态氙（LXe）-常压低温（专用杜瓦罐）

- 容器规格型号：40L/10L/8L高压钢瓶（气态，主流）、50L/175L专用低温杜瓦罐（液态）、小型高压气瓶（2L/4L，实验室专用）

货号（通用示例+行业品牌参考）

- 国内通用：GXe-40L-15MPa-99.999%、GXe-10L-20MPa-99.9999%、LXe-50L-99.999%

- 品牌参考：林德（Xe 40L 150bar 5N）、空气化工（Xe-UHP-10L 6N）、国内厂家（CP-Xe-40L-4N）

储存/保存条件（分气态/液态，核心：密闭、防泄漏、防积聚、低温防护、防窒息）

国标氙气钢瓶为银灰色瓶身+深绿色字样（稀有气体通用配色），因密度大易低洼积聚，储存需强化通风，具体要求：

气态氙气（钢瓶储存，工业/实验室主流）

1. 储存于阴凉通风、地势较高的库房，温度≤30℃，远离火种、热源、暴晒，钢瓶直立固定放置并加装防倾倒装置，严禁横放/倒置；

2. 钢瓶专用减压阀（禁与其他气体混用），与氧气、氢气、易燃气体分区隔离存放（间距≥5m），无化学反应禁忌，无需防火堤；

3. 库房需强制通风（底部+顶部双通风），防止氙气泄漏后在低洼处积聚，库区安装氧含量检测报警仪，实时监测缺氧风险；

4. 钢瓶按规范定期检验（每5年1次），禁止敲击、碰撞、暴晒，搬运使用专用手推车，轻拿轻放；

5. 阀门密封完好，定期检漏，泄漏时立即开启全面通风，疏散人员至高处，切勿在低洼处停留。

液态氙气（杜瓦罐储存，小众大用量场景）

1. 储存于专用低温通风库区，杜瓦罐直立放置，远离高温设备、明火，温度控制在≤-20℃，保证低温液化状态；

2. 操作时做好低温防冻防护，穿戴防冻手套、护目镜，避免液态氙直接接触皮肤造成冻伤；

3. 杜瓦罐为真空绝热结构，定期检查真空度、密封性和安全阀，防止液态氙挥发，挥发气体经顶部通风系统排出；

4. 储存区设置**“窒息危险”“低温危险”**警示标识，无关人员严禁入内。

通用强制要求

1. 氙气储存/使用区域需做好高低位通风，尤其是密闭空间（如实验室、车间），严禁在低洼处操作；

2. 高浓度泄漏时，人员需向上风向、高处撤离，并采取强制通风措施，待氧含量恢复至≥19.5%后方可进入；

3. 实验室少量使用时，配套尾气收集/排放装置，防止室内积聚。

主要产品用途

氙气因高密度、高电离性、极惰性、易液化的独特特性，为高端稀缺气体，应用于电子、医疗、照明、科研等领域，核心用途：

1. 电子/半导体行业（核心高端用途）：7N/6N超纯氙作为半导体芯片、光伏电池的刻蚀气、离子注入气、溅射气，用于高端晶圆刻蚀、薄膜沉积，是第三代半导体制造的关键气体；

2. 医疗领域：高纯氙用于氙气CT、磁共振（MRI） 成像（造影剂，无辐射、成像清晰）；氙气具有麻醉作用，用于临床高端无痛麻醉（副作用小、苏醒快）；也用于放射治疗的剂量校准；

3. 照明/光电领域：纯氙用于制作氙气灯（汽车疝气大灯、舞台追光灯、高压氙气放电灯），发光效率高、亮度强、色温接近自然光；也用于航空航天导航灯、深海探测灯；

4. 科研/检测领域：超纯氙用于核物理、天体物理研究（如氙气探测器检测暗物质、宇宙射线）；作为气相色谱载气、精密仪器的校准气；用于真空镀膜、离子镀膜的保护气/溅射气；

5. 航空航天/国防：氙气用于电推进器（离子推进器） 燃料（卫星、深空探测器的推进系统，效率高、续航久）；作为航空航天设备的检漏气、惰性保护气；

6. 工业/其他应用：高纯氙用于金属焊接的惰性保护气（适用于高端精密焊接）；液态氙作为低温制冷剂、辐射探测器的工作介质；也用于高压放电管、盖革计数器的填充气。