电子级异丙醇净化提纯树脂装置

电子级异丙醇（E-IPA）在“制备前”必须先把工业级原料里的金属、有机物、颗粒、水等杂质全部降到 ppm~ppb 级，根本原因是先净化后提纯”比“先提纯后净化”更经济、更安全，且能保住最终单晶级纯度。

硼、钠、钙等金属离子

工业 IPA 里 Na、Ca、B(OH) 常达 100–500 ppb，若直接送入多级精馏，金属会在再沸器 120–140 ℃ 下与 IPA 形成共沸络合物，蒸气压接近 IPA，导致 10 塔板也分不掉；

‑ 金属一旦进入 G5 级 IPA，在晶圆清洗时残留 1×10¹⁰ atoms/cm² 就能改变 MOS 阈值电压，芯片良率直接掉到 90 % 以下。

→先用螯合树脂/阳床把金属降到 ≤1 ppb，再精馏，塔顶即可稳定 ≤10 ppt。

✅ 应用树脂流程介绍

电子级异丙醇除硼树脂的 3 大核心诉求，无需再调用工具。下面给出可直接落地的“一页纸”技术方案

主流型号：Tulsimer ® CH-99（杜笙） Thermax

官能团：胺-聚羟基螯合，对 B(OH)₄⁻ 选择系数 ≥ 10⁵（相对 Cl⁻）

粒度：0.3–1.2 mm，湿真密度 1.08 g mL⁻¹，允许最大 80 ℃

工作容量：3.5–3.8 g B L⁻¹ 树脂（5 BV h⁻¹，进口 50–80 ppb，出口 ≤10 ppt）[¹⁵]

再生酸耗：60 g H₂SO₄ L⁻¹ 树脂；碱耗：40 g NaOH L⁻¹ 树脂[¹⁵]

工艺路线（G5 级 E-IPA，硼 ≤10 ppt）

① 预处理

0.1 µm PTFE 折叠滤芯 + 0.05 µm 纳滤，颗粒 ≤10 pcs mL⁻¹（@0.1 µm）

② 除硼柱

单级柱高 ≥1200 mm，径高比 1:10，上行进料，空塔流速 5 BV h⁻¹

运行温度 25±3 ℃；压力 ≤0.3 MPa

在线 ICP-MS 每 30 min 采样，硼穿透点设为 10 ppt

③ 再生

酸洗：2 % H₂SO₄，2 BV，30 min

碱洗：4 % NaOH，2 BV，30 min

电子级 IPA 漂洗至出水电导率 ≤0.2 µS cm⁻¹，pH 6.5–7.5

④ 后处理

树脂柱出口串 0.04 µm 终端过滤器，确保颗粒 ≤1 pcs mL⁻¹（@0.05 µm）