超纯氧

基础标识

- 中文名：超纯氧

- 英文名：Ultra-high Purity Oxygen；UHP Oxygen

- 别名：超纯氧气、高纯氧（高阶品类）、电子级氧（超纯级应用称谓）

- 分子式：\boldsymbol{O_2}（双原子分子，氧氧双键结合）

- 产品外观颜色：常温常压下为无色、无味、无臭的气体；液态超纯氧为淡蓝色透明液体，固态为淡蓝色雪花状结晶，无肉眼可见杂质。

核心属性

- 有机/无机：无机物质（氧元素组成的非金属单质，无碳氢有机结构）

- 理化属性：标准状况下密度1.429g/L，微溶于水；沸点-183℃，熔点-218.4℃；化学性质极活泼，强氧化剂，助燃性极强，与易燃物（氢气、甲烷、烃类）混合遇明火/静电会剧烈爆炸，与金属、有机物接触易引发氧化反应；本身无毒，但高浓度（＞40%）吸入会造成氧中毒，液态氧为超低温介质，接触皮肤会致冻伤；属于乙类助燃危化品，工业分气态超纯氧和液态超纯氧。

- 纯度核心指标：超纯氧纯度≥99.9999%（6N），部分电子级超纯氧可达99.99999%（7N），杂质（N₂、Ar、H₂O、CO₂等）含量均为ppb级。

执行质量标准

国内超纯氧执行国标为主，配套行业专用规范，核心标准及指标：

产品等级 执行标准 核心纯度指标 适用场景 

超纯氧（6N） GB/T 14599-2023《纯氧、高纯氧和超纯氧》 ≥99.9999%，总烃≤0.05μL/L，H₂O≤0.5μL/L 电子、半导体、光伏核心工艺 

电子级超纯氧（7N） SJ/T 10624-2021《电子工业用气体 氧》 ≥99.99999%，杂质均≤0.1ppb 芯片刻蚀、晶圆镀膜、光电子 

焊接/切割用高纯氧 YB/T 5063-2019 ≥99.995%，露点≤-70℃ 高端精密焊接、金属切割 

型号&货号（行业通用分级，货号供应商自定义）

型号（按纯度/形态/压力/容器规格划分）

- 纯度型号：6N超纯氧（99.9999%）、7N电子级超纯氧（99.99999%）

- 形态/压力型号：气态超纯氧（GO₂）-15MPa/20MPa（钢瓶常用）；液态超纯氧（LO₂）-常压超低温（杜瓦罐/低温储罐）

- 容器规格型号：40L/10L/8L高压钢瓶（气态）、175L/500L/1000L杜瓦罐（液态）、低温常压储罐（工业大用量，5m³/10m³）

货号（无统一国标，通用示例+行业参考）

- 国内通用：UHP-O₂-40L-20MPa-6N、GO₂-10L-15MPa-7N、LO₂-175L-99.9999%

- 品牌参考：林德（UHP O2 40L 200bar 6N）、空气化工（O2-UHP-175L-7N）、国内厂家（CP-O2-40L-6N）

储存/保存条件（分气态/液态，核心：防泄漏、隔离助燃、超低温防护、防静电）

国标超纯氧钢瓶为天蓝色瓶身+黑色字样，储存全程遵循助燃品管理规范，具体要求：

气态超纯氧（钢瓶储存，工业常用）

1. 储存于阴凉通风的乙类防爆库房，温度≤30℃，远离火种、热源、暴晒，钢瓶直立固定放置并加装防倾倒装置，严禁横放；

2. 钢瓶专用减压阀（禁与其他气体混用，无油脂污染），与易燃/易爆气体（氢气、甲烷、烃类）、还原剂、有机物、油脂类严格隔离存放（间距≥10m，防火堤分隔），严禁混储；

3. 库房采用防爆型通风/照明设备，禁止使用易产生火花的工具/机械，库区安装氧含量检测报警仪（防止局部氧浓度超标）；

4. 钢瓶内壁无油脂、无杂质，搬运使用专用无油手推车，全程防静电接地，操作人员穿戴无油劳保用品（严禁携带油脂、易燃物接触钢瓶）；

5. 钢瓶按规范定期检验（每3年1次），禁止敲击、碰撞，阀门密封完好，库区配备干粉灭火器（禁用水冲灭），备有泄漏堵漏工具和吸附材料。

液态超纯氧（杜瓦罐/低温储罐储存，大用量场景）

1. 储存于专用超低温助燃品库区，通风良好，杜瓦罐/储罐直立放置，远离高温设备、明火、易燃物（间距≥15m），防止罐体受热；

2. 操作时做好超低温防冻防护，穿戴防冻手套、护目镜、专用防护服，避免液态氧直接接触皮肤造成冻伤，严禁将液态氧倒入密闭容器（遇热膨胀易超压）；

3. 储罐定期检查真空度、密封性和安全阀，确保超低温绝热效果，防止液态氧快速挥发，挥发气体需经通风系统定向排出，避免局部氧浓度超标；

4. 库区严禁明火、吸烟，设置**“助燃气体”“超低温危险”“严禁油脂”**警示标识，无关人员严禁入内，所有设备无油脂改造。

通用强制要求

1. 超纯氧储存/操作区域严禁任何油脂、易燃有机物接触，所有管路、阀门、设备均为无油型；

2. 密闭空间使用超纯氧时，必须持续强制通风，实时监测环境氧含量（控制在23.5%以下），防止氧中毒和助燃风险；

3. 储存区域做好防雷、防静电措施，操作人员严禁穿带钉鞋、化纤衣物进入。

主要产品用途

超纯氧因高纯度、低杂质特性，核心用于高端精密工艺，少量适配高端工业/科研场景，具体：

1. 电子/半导体行业（核心用途）：6N/7N超纯氧作为半导体芯片、晶圆、光伏电池、液晶屏的刻蚀气、氧化气、掺杂气，用于硅片热氧化、金属刻蚀、薄膜沉积等核心工艺，是微电子制造的关键基础气体；

2. 高端冶金/材料工业：稀有金属（钛、钨、钼）的精密冶炼，高温合金、特种不锈钢的氧化处理和纯度提升，避免普通氧气杂质造成材料性能下降；

3. 科研/实验室领域：超纯氧环境下的化学实验、材料研发，气相色谱/质谱联用仪的助燃气，高端精密仪器的氧化氛围校准，航空航天材料的高温性能测试；

4. 医疗/高端康养：超高纯氧用于重症监护室（ICU）的精密氧疗，航天航空飞行员的呼吸供氧，高端康养的纯氧呼吸舱配套（需严格控制浓度）；

5. 航空航天领域：火箭/航天器的推进剂配套（液氧+液氢/液甲烷），航天设备的超纯氧环境测试，高空飞行的精密供氧系统；

6. 其他高端应用：浮法玻璃高端品种（光电玻璃、光伏玻璃）的熔制氧化气，精密焊接（钛合金、铝合金高端构件）的助燃保护气，燃料电池的氧化剂配套。