3-(3-甲苯基脲基)苯基4-甲基苯磺酸酯 感光材料 博思特

一、基本信息

名称：3-(3-甲苯基脲基)苯基 4-甲基苯磺酸酯

化学式：C₂₁H₂₀N₂O₄S

分子量：396.46 g/mol

CAS号：138628-64-7

二、物理性质

外观：白色至类白色结晶性粉末

熔点：具体文献数据较少，估计在150℃以上

溶解性：推测溶于DMF、DMSO、丙酮等强极性有机溶剂，微溶于醇类，不溶于水

特性：分子结构复杂，集成了脲基（-NHCONH-）连接臂、芳香环和甲苯磺酸酯离去基团

推测其设计旨在作为光致产酸剂或功能分子前体

三、化学性质与推测设计机理

推测为光致产酸剂：甲苯磺酸酯基：在紫外光照射下，分子吸收能量发生特定化学键断裂，高效释放强酸性的对甲苯磺酸。

脲基连接臂：用以连接发色团（此处为苯环）与产酸基团，调节分子的光吸收波长、热稳定性和溶解性。

作用：释放的酸在后续工艺中作为催化剂，引发酸敏材料的化学变化（如聚合、交联、脱保护）。

四、应用领域

主要用途：高科技光刻工艺：作为化学增幅型光刻胶的核心组分——光致产酸剂，主要用于半导体芯片制造中的深紫外（DUV，如248nm）或电子束（E-beam）光刻工艺，是精密图形转移的关键材料。

五、安全与储存

光敏性与刺激性：对紫外光敏感，操作需在黄光安全灯条件下进行。

粉末可能对呼吸道有刺激性。

防护与储存：操作时需佩戴手套、护目镜和防尘口罩。

必须严格避光（尤其紫外）、密封、干燥、冷藏保存。