PFA托盘/方盘400*300mm一体成型耐腐蚀成膜实验表面光滑

产品基本信息

产品名称：PFA方盘/托盘

材质：Teflon、PFA

尺寸：400*300mm   340*240mm

货号：RNKW-PFATP

PFA托盘是一种使用PFA（可熔性聚四氟乙烯） 材料制成的高性能工业托盘、载具或容器。PFA是一种透明的、全氟化的氟聚合物塑料，以其极端的化学惰性、超高纯度和出色的耐高温性而闻名。

材质特性

几乎能抵抗所有强酸、强碱、强氧化剂和有机溶剂（如王水、氢氟酸、浓硫酸等）的腐蚀。

超高纯度与低析出：

材料本身纯净，在超纯化学药液（如半导体级酸、碱、溶剂）中浸泡时，离子和金属杂质析出量极低，不会污染工艺液体或晶圆。这是其在半导体制造中不可或缺的原因。

出色的耐热性：

连续使用温度范围广（-196°C 至 +260°C），短时间内可承受更高温度。适用于高温清洗（如热硫酸清洗）和工艺环境。

表面光滑如“特氟龙”，不粘附物料，易于清洁，能防止产品粘连。

相比PTFE（聚四氟乙烯，特氟龙），PFA具有更好的抗蠕变性和韧性。通常是半透明或透明的，便于观察内部物体或液位。

主要应用领域

半导体制造业（最主要市场）：

湿法工艺：用于在清洗、蚀刻、显影等槽体中承载和传输硅片（晶圆）。常见的如 FOUP/FOSB 内胆托盘、花篮、卡匣等。

化学品储存与输送：用于盛放、分配超高纯度的化学液体。

光伏产业：

在太阳能电池片制造过程中，用于制绒、蚀刻、清洗等湿法工艺，承载硅片。

化工与制药行业：

用于处理高纯度、高腐蚀性的化学试剂和药品中间体。作为实验器皿、反应容器或输送托盘。

常见类型与设计

晶圆托盘： 有25片、50片等容量，设计有精确的卡槽，用于固定不同尺寸（如8英寸、12英寸）的晶圆。

花篮/卡匣： 用于将晶圆从一个工艺槽移动到另一个工艺槽的标准载体。

方形/矩形托盘： 用于盛放化学品、零部件或作为工作盘。

定制化设计： 可根据客户的具体需求，在尺寸、形状、开孔、加强筋等方面进行定制，以优化液体交换、减少滞留或增加强度。