薄膜应力测量仪 晶圆曲率/平整度/应力测量

FLATSCAN 薄膜应力测试仪

一种具有大测量范围的非接触式光学表面轮廓仪，适用于对晶圆应力（薄膜应力）、表面曲率（半径）以及斜率进行高精度的二维或三维测量。

用于表面轮廓测量的光学测量原理

FLATSCAN 薄膜应力测试仪用于对各种反射面（如硅片、镜面、X 射线镜（Goebel-mirrors）、金属表面或抛光聚合物）的平整度、表面曲率、平均半径和薄膜应力（晶圆应力）进行非接触式测量。光学测量原理确保了高精度。其基于对垂直入射激光束沿具有恒定步长的线的反射角进行测量。从测量点之间反射角的变化可以精确计算出表面轮廓。对于某些应用，反射角本身（表面斜率）也很重要。因此，软件还提供了这种测量选项。

在半导体技术的应用中，可通过测量镀膜前后晶圆的曲率半径来计算涂层的薄膜应力（晶圆应力）。

测量区域大

所用测量原理的一个特点是它与测量区域无关。因此，200mm 的标准测量场直径几乎可以任意增加，而不会降低精度。

测量精度高

FLATSCAN 薄膜应力测量仪具有高测量精度的特点。测量系统的分辨率可达 0.1arcsec。表面形状的再现性优于 100 nm。

测量范围和工作距离大

测量范围是指在一次扫描中能够测量的最大矢高（或最小可测曲率半径）。FLATSCAN 的一大特点是测量范围极其宽广，这是其他竞争测量方法（如条纹干涉仪或相移干涉仪）所无法实现的。

因此，FLATSCAN 薄膜应力测量仪适用于测量具有强曲率的表面，例如goebel 镜、硅片或其他类似的表面。所采用的光学测量原理不受工作距离的影响，并确保了较高的工作距离，因此不会对样本造成损坏的危险。

可选的2D/3D测量

根据设备类型，可选择进行单线扫描或完整的 3D 扫描。3D 扫描由众多单线扫描自动组合而成，具有自动样本定位功能。该软件提供了所有优良的图形和数值表示测量结果的常用功能，例如 3D 表征、剖面图和测量报告。

用于计算薄膜应力的软件模块

该软件配备了一个基于Fowkes 理论计算薄膜应力的模块，适用于半导体技术以及所有涉及表面改性（如涂层或去除涂层）的应用，能够快速、轻松地测量薄膜应力。薄膜应力是根据镀膜过程前后平均曲率半径计算得出的。

主要技术参数

1、激光束非接触式测量

2、具有自动测量晶圆的轮廓、曲率和薄膜应力的功能

3、表面曲率的重复性（P-V）≤100nm

4、光学测量系统的分辨率：0.1arcsec

5、光学测量系统的精度：1arcsec

6、扫描速度：10~30mm/s

7、可测量范围：标准φ200mm、300mm，更大可定制