三氟乙酰氟354-34-7 C2F4O

三氟乙酰氟是一种重要的有机氟化合物，以下是关于三氟乙酰氟的详细介绍：

一、基本信息

• 中文名：三氟乙酰氟

• 英文名：Trifluoroacetyl fluoride

• 化学式：CF3COF

• 分子量：116.01400

• CAS登录号：354-34-7

二、化学性质

• 稳定性：在常温下不稳定，容易分解

• 反应性：具有高反应性和高选择性，可以在微米级别上进行精确刻蚀

三、应用领域

1. 半导体刻蚀气体：三氟乙酰氟是一种低GWP值半导体刻蚀气体，用于制造半导体器件。它具有刻蚀速率快、高深宽比、高选择性的优点，可以实现近乎垂直的刻蚀加工，为制造小体积、大容量的3D NAND闪存提供了可能。

2. 制冷剂：三氟乙酰氟是一种潜在的中低温制冷剂，具有良好的热力学性质和环境友好性。它的Ozone Depletion Potential（ODP）和Global Warming Potential（GWP）值都很低，可以替代一些对臭氧层和全球气候有害的制冷剂。此外，三氟乙酰氟可与其他组分混合，组成一种低GWP值的制冷剂，使得组合物的GWP≤150，从而满足碳减排、碳中和的相关要求。

3. 其他应用：在农药中间体、含氟材料单体等领域也有广泛的应用。

四、安全注意事项

• 操作环境：应在通风良好的地方操作，避免吸入或接触三氟乙酰氟。

• 应急处理：如果不慎接触到皮肤或眼睛，应立即用大量清水冲洗，并寻求医疗帮助。

• 储存条件：应将三氟乙酰氟储存在干燥、阴凉、通风的地方，避免与氧化剂和强酸接触。

五、环保性能

三氟乙酰氟是一种环境友好的化合物，其GWP值小于1，大气寿命为6.9天，温室效应很低。因此，它被认为是一种兼具优异刻蚀性能和环保性能的含氟电子刻蚀气。

综上所述，三氟乙酰氟是一种具有广泛应用前景的有机氟化合物，在半导体制造、制冷以及农药中间体等领域发挥着重要作用。然而，由于其具有一定的危险性和毒性，在使用和储存过程中需要严格遵守安全规定和操作规