1-(二氟磺酸甲基)-2,2,2-三氟乙基金刚烷甲酸酯:三苯基硫鎓盐 (1:1)

核心作用机制与应用

1. 光致产酸核心功能

• 曝光时硫鎓盐光解生成三苯基硫醇与强酸性磺酸（含二氟磺酸甲基、三氟乙基结构，酸性强且扩散可控）。

• 酸催化光刻胶中酸敏基团（如环氧、缩醛、酯基）发生交联或降解，实现化学放大，提升光刻灵敏度与分辨率。

2. 典型应用场景

• 先进光刻胶关键组分：适配 ArF（193 nm）光刻，用于半导体芯片制造中精细图形转移，尤其适合高分辨率、低线宽工艺节点。

• 微电子材料固化：用于电子封装、液晶显示等领域的光敏树脂固化，如负性光刻胶、介电材料的光交联引发。

• 精细有机合成：作为光活性酸源，用于需要温和、可控产酸的光催化环化、重排等反应，尤其适合对酸敏感的复杂分子合成。

3. 结构优势

• 金刚烷基赋予高耐热与抗刻蚀性，氟代磺酸基团保证产酸强度与扩散可控性，三苯基硫鎓盐光化学稳定性好，适合工业化光刻流程。